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項  目

技術指標

EW-Ⅰ

EW-Ⅱ

EW-Ⅲ

EW-Ⅳ

電阻率(25℃)/MΩ · cm

≥18            (5%時間不低于 17)

≥15            (5%時間不低于 13)

≥12. 0

≥0. 5

全硅/(μg/L)

≤2

≤10

≤50

≤1000

微粒數(shù)/ (個/L)

0. 05μm~0. 1 μm

500

—

—

—

0. 1 μm~0. 2 μm

300

—

—

—

0. 2 μm~0. 3 μm

50

—

—

—

0. 3 μm~0. 5 μm

20

—

—

—

> 0. 5 μm

4

—

—

—

細菌個數(shù)/(個/mL)

≤0. 01

≤0. 1

≤10

≤100

銅/(μg/L)

≤0. 2

≤1

≤2

≤500

鋅/(μg/L)

≤0. 2

≤1

≤5

≤500

鎳/(μg/L)

≤0. 1

≤1

≤2

≤500

鈉/(μg/L)

≤0. 5

≤2

≤5

≤1000

鉀/(μg/L)

≤0. 5

≤2

≤5

≤500

鐵/(μg/L)

≤0. 1

—

—

—

鉛/(μg/L)

≤0. 1

—

—

—

氟/(μg/L)

≤1

—

—

—

氯/(μg/L)

≤1

≤1

≤10

≤1000

亞硝酸根/(μg/L)

≤1

—

—

—

溴/(μg/L)

≤1

—

—

—

硝酸根/(μg/L)

≤1

≤1

≤5

≤500

磷酸根/(μg/L)

≤1

≤1

≤5

≤500

硫酸根/(μg/L)

≤1

≤1

≤5

≤500

總有機碳/(μg/L)

≤20

≤100

≤200

≤1000